Dans la fabrication d'équipements à semi-conducteurs,caractéristiques à micro-échelle telles que des trous de refroidissement, des canaux de vide ou des micro-conduits fluidesne sont pas facultatifs-ils sont essentiels à la mission-. Ces petites structures exigentprécision extrême, bords nets et cohérence, souvent inférieur à 100 microns de diamètre.
Pourquoi la précision des micro-trous est importante
Les microcanaux sont essentiels dans des domaines tels que :
Plaques froides et dissipateurs thermiques
Ensembles optiques et têtes laser
Ports d'aspiration du mandrin de plaquette
Composants RF haute-fréquence
Même le plus petit écart de diamètre, d'alignement ou de qualité de surface peut perturber la dissipation thermique, l'étanchéité sous vide ou la dynamique des fluides-, compromettant ainsi les performances du système.
Le défi de l'usinage CNC
L'usinage de micro-trous présente des difficultés uniques :
Fragilité des outilspendant une coupe à grande-vitesse
Risque deformation de bavures ou de micro-fissures
Problèmes d'évacuation des copeauxconduisant à un colmatage
Distorsion thermiquelors d'opérations prolongées
Par exemple, lors de l'usinagemicrocanaux de dissipation de chaleur-dans une plaque froide à semi-conducteur, une bavure ou un écart de forme de quelques microns seulement peut réduire la conductivité thermique et affecter la stabilité du système.
Comment nous y abordons
ÀPrécision BISHEN, nous combinonscontrôle de broche à grande-vitesse, outillage de micro-diamètre, etstratégies CAM adaptativespour assurer :
La rondeur et la conicité des trous sont dans des tolérances strictes
Finitions sans bavure-sans processus secondaires
Contrôle multi-axes pour les microfonctions profondes ou inclinées
Rinçage à l'air en ligne ou par ultrasons en option- pour l'élimination des copeaux
Des résultats prouvés
Pour un client récent de semi-conducteurs, nous avons livréplaques de dissipateur thermique en aluminiumavec plus de 500 micro-trous, chacun d'un diamètre inférieur ou égal à 0,2 mm, dans une tolérance de ±5 μm et un Ra inférieur ou égal à 0,2 μm. Les pièces ont passé avec succès la validation du-scellage sous vide et de la-conductivité thermique sans retouche.
Parlons de vos micro-détails
La précision au niveau micro sépare les systèmes-hautes performances des systèmes instables. Si vos pièces nécessitentmicro-trous ou canaux de précision impeccables, nous sommes prêts à vous aider-du prototypage à la production en série.
