Analyse de l'objet de traitement
Matériel: verre de quartz de qualité optique
Fonctionnalités de traitement : meulage de contours multi-surfaces (dont 3 facettes asymétriques)
Dimensions clés: 16×16×10mm (erreur ±0,002mm)
Ce prisme de quartz, qui n'a que la taille d'un ongle, est l'élément central-guidant la lumière du système optique d'une machine de lithographie haut de gamme domestique-. Ses 8 surfaces incurvées complexes doivent atteindre une transmission de 99,6 % et une précision de réfraction au niveau nanométrique-, et la rugosité de la surface affecte directement la résolution d'exposition de la machine de lithographie.
Points faibles de l’industrie et difficultés techniques
Une entreprise de technologie optique a rencontré un goulot d'étranglement dans le traitement des prismes de quartz lors de la promotion de la localisation de machines de lithographie :
Défauts de meulage traditionnels: La rugosité après polissage manuel atteint toujours Sa 120 nm, entraînant une perte de diffusion de la lumière de 15 %
Dépendance en matière d'équipement à l'égard des importations : Le coût d'une seule meuleuse japonaise d'ultra-précision dépasse 20 millions de yuans et le délai de livraison peut atteindre 18 mois.
Crise des rendements: Seules 32 des 500 premières productions d'essai répondaient aux normes, ce qui a sérieusement ralenti l'avancement du projet.
Le dilemme « ne peut pas se permettre d'acheter des équipements importés et les processus nationaux ne sont pas bons » a directement bloqué le processus de développement indépendant des machines de lithographie.
BISHENsolution de solutions
En réponse aux exigences d'extrême précision des composants optiques, l'équipe technique BISHEN a développé une recherche et un développement innovants :
1. Système de traitement de liaison à cinq axes verticaux par ultrasons-
Compensation dynamique de niveau 2. 0.1μm-, contrôle précis des machines-outils à liaison 18 axes
3. Programmation intelligente CAD/CAM à surface asymétrique assortie
4. Technologie de meulage assistée par ultrasons à haute -fréquence
Les vibrations ultrasoniques 5. 40kHz réduisent 52 % des contraintes de coupe et évitent les microfissures du quartz.
6. La durée de vie de la meule en micro-poudre diamantée est prolongée de 3 fois
Saut de performance mesuré réel
Trois avancées majeures ont été réalisées dans la production en série d'un certain type de prisme de machine de lithographie domestique :
1.Qualité de surface : Rugosité Sa<70nm (better than ASML supplier standard)
2.Efficacité du traitement : les heures de travail d'une seule pièce-sont compressées de 14 heures à 3,5 heures.
3.Contrôle des coûts : l'investissement en équipement ne représente que 1/5 de la solution importée
Le taux de rendement du premier lot de 3 000 produits a grimpé à 98,7 %, permettant aux clients de terminer l'assemblage des prototypes 6 mois avant la date prévue.
à proposBISHEN
BISHENPrecision Technology (fondée en 2017) s'efforce de briser la technologie des « goulets d'étranglement » dans le domaine de la fabrication haut de gamme. Elle a construit une usine numérique de 7 500 mètres carrés à Dongguan, équipée de groupes d'équipements importés tels que des centres d'usinage à liaison à cinq -axes et des meuleuses optiques d'ultra-précision. En appliquant des technologies innovantes telles que l'usinage par ultrasons et la découpe cryogénique aux équipements semi-conducteurs, aux instruments optoélectroniques et à d'autres domaines, elle a fourni des solutions de traitement de pièces clés à plus de 20 sociétés nationales de la chaîne industrielle de machines de lithographie et a livré plus de 500 000 composants optiques de précision.
