Étude de cas : percée dans le traitement des substrats en verre de quartz
Objet de traitement : substrat en verre de quartz pour photolithographie
Caractéristiques:
Matériel : 99,99 % de verre de quartz de haute-pureté
Fonctionnalités de traitement : chanfrein C0.2 double-face + paroi latérale verticale
Exigences de surface: Ra < 150 nm (qualité miroir)
Dimensions: 145×145×5,5mm±0,01mm
Analyse des problèmes de traitement de l'industrie
En tant que consommables de base des équipements de fabrication de semi-conducteurs, les pièces en quartz pour la photolithographie doivent répondre simultanément à trois normes strictes : transmission du matériau > 99,6 %, tolérance dimensionnelle ± 10 μm et rugosité des parois latérales Ra < 150 nm. La méthode de traitement traditionnelle utilise le processus de meulage de la meule, qui pose deux problèmes majeurs dans l'industrie :
Goulet d’étranglement en matière d’efficacité : le traitement d'une-pièce unique prend jusqu'à 120 minutes
Défauts de surface: residual grinding wheel pattern leads to Ra value>560 nm
Perte d'outil: la durée de vie de l'outil ordinaire est inférieure à 50 pièces
BISHENsolutions technologie innovation
Compte tenu des caractéristiques dures et cassantes des matériaux à base de quartz, un compositesolution de traitementest adopté :
• Système de gravure et de fraisage de précision par ultrasons de 20 kHz
• Fraise à micro-lame PCD intégrée-(bord R0,05 mm)
• Processus de découpe en couches axiales (2 μm par couche)
Comparaison des avantages de traitement mesurés
Grâce à la vérification et à la comparaison des processus, les indicateurs clés ont été considérablement améliorés :
Valeur des applications industrielles
Cette solution a résolu avec succès le problème de traitement des « goulots d'étranglement » dans le processus de localisation des pièces de machines de lithographie, augmentant la capacité de production de substrats de quartz de 10 pièces par jour à 50 pièces et le taux de qualification de traitement de 63 % à 98,5 %. Selon la détection de l'interféromètre laser Zeiss, la valeur PV de précision de la surface de traitement est<λ 10="" (λ="632.8nm)," which="" meets="" the="" qualified="" assembly="" standards="" of="" optical="">
À proposBISHEN
Précision Bishense spécialise dans le traitement de pièces de quincaillerie de précision, avec 7 500 mètres carrés d'ateliers standardisés, et ses services couvrent l'aérospatiale, les équipements médicaux, les robots industriels et d'autres domaines. Grâce à sa capacité à traiter des pièces structurelles complexes et à la certification du système ISO, elle fournit aux clients des solutions de processus complètes, depuis la conception et le développement jusqu'à la production de masse.
